际生产的情况进行优化。”
……嘶,梁总匝巴嘴,心想姑且当李颜说的是真的,便继续问道:
“分辨率跟套刻精度呢?”
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“跟阿斯玛的一样,193的波长,arfi光刻机,分辨率38nm,得益于浸润式的提升,最小制程7nm。”
梁总心里一边听一边狂喊“不可能”,喊得筋疲力尽。
李颜突然一拍脑袋,补充道,“当然,目前套刻精度受制于制作工艺精度,实际用起来,想要通过多重曝光达到7nm制程,良品率应该不太妙。只能算是理论上没问题,实际应用的话,应该还是制程28nm的芯片为主。”
“你说的要都是真的,你就是华夏这个行业的救世主。”范总用夸奖的方式把梁总心里的不可能喊了出来,“完完全全就是从无到有带领我国芯片产业往上跨了几个台阶!不可思议!”
梁总继续问,“掩模板、晶圆、光源等模组的定位与运作,你竟然能用手拆了之后复原,并且不影响他们的精度?”
“梁总,要是光刻机的精度取决于安装时手抖与否,那也太低级了。就算是全机械流水线安装,大型器械的精度难道就能匹配光刻机的零件精度吗?”
“那……”
“他们肯定都有互相匹配的卡位装置,就连螺丝转几圈都有具体规定,并且都留有细微的调整余量。像掩模板传送模组的精度,相比晶圆传输模组与双晶圆平台模组的精度要求也不一样,精度是可以借流程推进逐步提高的嘛。这东西内部的运作程序如何修正定位误差,才是最终成品能运作的核心问题。”李颜说道,“这种级别的精度本来就不可能光靠‘怎么放置’的机械操作保证。”
梁总听得很急,他有太多问题想问了:
“你怎么能知道螺丝转几圈这种东西?”
“我拆的时候记住了。”
“就……就靠记?”范总也懵逼了。
未免太离谱了吧,爽文也不能这么爽啊。
“当然不,螺丝拆了拧回去也有一定磨损,我毕竟徒手操作,有些地方不可能跟原来一模一样。所以需要完全理解这台机器,明白这里螺丝为什么转这么几圈,然后借计算机模型的辅助,确认我装回去的时候需要转几圈。”
好的更离谱了。
“那你说的,程序运作……难道你直接解析了机器的内部运行系统吗?”
“我写了个新的。”李颜笑道。
梁总突然感觉胸口涌出一股热血
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