最昂贵的三类分别是沉积设备,包括pecvd,lpcvd等、刻蚀设备、光刻机,占半导体晶圆厂设备总投资的15%、15%、20-25%。
几乎垄断了高端光刻市场份额高达80%的asml,在cvd设备和pvd设备领域都保持领先的美国应用材料(amat)以及刻蚀机设备领域龙头lamresearch稳坐前三。
想买,而且买好的,绕不开他们。当然有些设备也可以去找小日子的尼康、dns、日立高新去买。
其中,国人最熟悉的莫过于光刻机和其主要生产商asml。
光刻机的作用说的简单点,就是通过一系列的手段,将线路图成比例缩小后照射到硅片上,然后显影,最终得到在硅片上的电路图。
经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片,线路图的层数越多,也需要更精密的曝光控制过程。
后来华为的那张麒麟9000s,就是用了多重曝光的技术。
其中多重曝光技术早就有了,不过被认为没什么价值,因为可以通过其他方式做到更精密的芯片。
也只有华为被逼的没办法,使用这一技术,并且有重大突破。
毕竟,多重曝光良率很难保证,良率无法保证,成本就上来了。光刻机绕不开asml,其在世界同类产品中有80%的市占率。
关键吧,asml有一个非常奇特的规定,那就是只有投资asml,才能够获得优先供货权。这样奇特的合作模式使得asml获得了大量的资金,包括英特尔、三星、台积电、海力士都在asml中有相当可观的股份,可以说大半个半导体行业都是asml一家的合作伙伴,形成了庞大的利益共同体。
抱歉的是,没中国企业什么事儿。
所以你就知道了吧,这本身就是一场中国vs全球企业的竞赛。
euv光刻机里面有十万个零件,被称为工业皇冠上的明珠,30多个国家5000多个行业顶级厂商共同完成,技术要求非常高,也只有asml能造。这也不难理解,为什么我们能造出原子弹,却迟迟造不出euv光刻机了,没技术没零件,全都要自己研究。
一台先进的euv光刻机,平均需要1.5亿美元一台,运费就要10亿,重达180吨,各种零部件就需要40个集装箱运输。
组装调试就需要一年时间,组装完成后有两辆公交车长。
即便如此,安装调试费用也需要上亿,关键你还买不到货……
你想买人家还不卖!!!
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